[導讀:]現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?下面中凈為大家解答。
FAB無塵室是芯片生產(chǎn)加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國際的生產(chǎn)線都叫fab。凈化車間不一樣等級氣體潔凈度等級的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關鍵點:針對300000級空氣過濾解決,可選用亞高效送風口替代高效送風口;氣體潔凈度等級100級、10000級及100000級的空氣過濾解決,應選用初、中、高效送風口三級過濾裝置。
FAB半導體材料芯片無塵室工作環(huán)境的規(guī)定:因為電子設備在生產(chǎn)制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣質量自然環(huán)境和質量的規(guī)定極其嚴苛,關鍵以操縱粒子和塵土為關鍵目標,與此同時還對其自然環(huán)境的溫度濕度、清新空氣量、噪音等做出了嚴苛的要求。1、房間內(nèi)的噪音級(空態(tài)):不可超過65dB(A)。2、豎直流凈化室布滿比不可低于60%,水準單邊流凈化室不可低于40%,不然便是部分單邊流了。3、與戶外的負壓差不可低于10Pa,不一樣氣體潔凈度等級的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)中間的負壓差不可低于5Pa。4、清潔房間內(nèi)的清新空氣量應選以下二項中的最高值:5、賠償房間內(nèi)風量和維持房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量之和。6、保證供給清潔房間內(nèi)每個人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3。7、空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件電加熱器,應設定新風系統(tǒng),過熱關閉電源維護,若選用點增濕時要設定沒有水維護,嚴寒地域,家用新風系統(tǒng)應設定防寒保障措施。無塵室的送排風量。
半導體材料(FAB)凈化室中空氣濕度的目標大概操縱在30至50%的范疇內(nèi),容許偏差在±1%的狹小的范疇內(nèi),比如光刻技術區(qū)──或是在遠紫外光解決(DUV)區(qū)乃至更小──而在別的地區(qū)則能夠釋放壓力到±5%的范疇內(nèi)。
以上就是中凈環(huán)境 為大家介紹的“FAB無塵室”,希望能對您有所幫助。它只是一個英文單詞的縮寫,簡稱FAB,含義就是芯片加工的車間,對于行業(yè)來說非常重要。
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