怎么控制潔凈車間的溫度和濕度?潔凈車間為什么有靜壓差?

文章作者:中凈環(huán)境 發(fā)布時(shí)間:2019-09-28 23:34:41 瀏覽次數(shù):

[導(dǎo)讀:]潔凈車間在運(yùn)行過程中需要嚴(yán)格控制車間內(nèi)的溫度和濕度,來保證正常運(yùn)作和員工舒適,具體應(yīng)該怎么控制?潔凈車間里又為什么會(huì)有靜壓差?

潔凈車間在運(yùn)行過程中需要嚴(yán)格控制車間內(nèi)的溫度和濕度,來保證正常運(yùn)作和員工舒適,具體應(yīng)該怎么控制?潔凈車間里又為什么會(huì)有靜壓差?下面中凈環(huán)境詳細(xì)為大家介紹。

怎么控制潔凈車間的溫度和濕度?

1.凈化室的溫度濕度關(guān)鍵依據(jù)加工工藝規(guī)定明確,但在考慮加工工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)下,要考慮到人的舒適度。隨之氣體潔凈度規(guī)定的提升,對(duì)溫度和濕度的規(guī)定愈來愈嚴(yán)苛。

2.潔凈工程溫度的實(shí)際規(guī)定將在后邊列舉,但做為通常標(biāo)準(zhǔn),隨之生產(chǎn)加工精密度的提升,對(duì)溫度起伏范疇的規(guī)定會(huì)愈來愈小。比如,在規(guī)模性集成電路芯片造成的光刻曝出全過程中,夾層玻璃與硅片做為掩模原材料的線膨脹系數(shù)差規(guī)定愈來愈小。直徑100um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務(wù)必有±0.1度的控溫,另外規(guī)定濕度值較低,由于人流汗之后,對(duì)商品將會(huì)有環(huán)境污染,非常是鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間,這類生產(chǎn)車間不可超出25度。

3.高濕度會(huì)造成大量的難題。當(dāng)空氣濕度超出55%時(shí),冷卻循環(huán)水壁厚曝露。假如它產(chǎn)生在高精密機(jī)器設(shè)備或電源電路中,就會(huì)造成各種各樣安全事故。空氣濕度通常在50%銹蝕。除此之外,當(dāng)濕度很高時(shí),粘附在硅片表層的塵土?xí)粴怏w中的氧分子有機(jī)化學(xué)地粘附在表層,它是沒辦法除去的。空氣濕度、粘結(jié)性越高,則越難除去,但當(dāng)空氣濕度小于30%時(shí),又因?yàn)殪o電感應(yīng)顆粒物對(duì)表層吸咐的危害,還非常容易對(duì)很多集成電路工藝造成熱擊穿。硅片生產(chǎn)制造的最好溫度范疇是35 - 45%。

潔凈車間為什么有靜壓差?

1.在凈化室基本設(shè)計(jì)方案中,新風(fēng)系統(tǒng)和送風(fēng)模式所有是由氣體處理單元(AHU)送出去的。在不動(dòng)新風(fēng)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)的狀況下,撇開耗損沒去考慮到,因?yàn)楣苈肥敲荛]式的,基礎(chǔ)理論上講,AHU送出去的排風(fēng)量與回家的排風(fēng)量是相同,換句話,凈化室容積內(nèi)的總排風(fēng)量是不會(huì)改變的,風(fēng)力越大,只意味著換風(fēng)增加、流動(dòng)性加速了罷了。在風(fēng)口尺寸明確的狀況下,排風(fēng)量是與風(fēng)力是正比的,這時(shí)候能夠把風(fēng)力了解成風(fēng)量的定性分析值,但因?yàn)槟愠龅目欤一氐囊部欤蚨鄬?duì)性屋子以外的地區(qū)還是均衡的,不是流動(dòng)性的,因而也就沒有壓差存有。

2.倘若在所述基本上,人們提升了新風(fēng)系統(tǒng),這時(shí)候人們馬上發(fā)覺,先前的均衡被擺脫了。由于要與新風(fēng)系統(tǒng)混和,因此回排風(fēng)量就沒有以前的多了,但正壓送風(fēng)口的排風(fēng)量卻沒有轉(zhuǎn)變。這種多出去的排風(fēng)量因?yàn)闆]法從送風(fēng)口所有回來,務(wù)必要向其他地區(qū)外擴(kuò)散,那樣就造成了該屋子對(duì)其他地區(qū)的正工作壓力。因此,在實(shí)質(zhì)上工作壓力來自排風(fēng)量的轉(zhuǎn)變,而并不是風(fēng)力或換風(fēng)。

3.假如在所述送風(fēng)模式和新風(fēng)系統(tǒng)添加的基本上,又提升了排風(fēng)系統(tǒng)。這時(shí)候人們就會(huì)發(fā)覺,當(dāng)風(fēng)量低于排風(fēng)量的那時(shí)候,屋子相對(duì)性其他地區(qū)是正壓力的,相反,則是空氣壓力。

以上就是深圳中凈環(huán)境關(guān)于“潔凈車間控制溫度濕度”和“潔凈車間靜壓差”等問題提供的分享解答,希望能對(duì)您有幫助。為了給車間和員工一個(gè)良好的工作環(huán)境,必須要保持車間內(nèi)的溫度和濕度維持在規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)內(nèi),過多過少都是不利的。

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